芯片半導體專(zhuān)用冷水機設備簡(jiǎn)介

PTHC系列高低溫動(dòng)態(tài)控溫系統主要由制冷系統、循環(huán)系統、控制系統、箱體等組成。制冷系統采用蒸汽壓縮式制冷，循環(huán)系統包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。控制系統采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過(guò)機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿(mǎn)足工藝條件要求。

芯片半導體專(zhuān)用冷水機設備特點(diǎn)

全密閉系統：采用全密閉式系統設計，整個(gè)循環(huán)管路只有加液蓋上留出的呼吸孔，導熱油不會(huì )直接與空氣接觸，延長(cháng)了導熱油使用壽命同時(shí)確保系統運行的穩定性，膨脹油箱始終保持在常溫狀態(tài)，高溫時(shí)無(wú)油霧產(chǎn)生，低溫不會(huì )結霜。

控溫系統：自主開(kāi)發(fā)的溫度控制模塊，改變控制設定的方法，能夠盡快的響應過(guò)程中系統的滯后，得到最小的溫度過(guò)沖。控制由兩組PID（每組PID是可變的）控制回路構成，這兩組控制回路成為主回路和從回路，主回路的控制輸出作為從回路的設定值。系統采用帶有前饋PV，主控回路的PID運行結果的輸出與前饋PV信號復合后作為主控回路的設定值，通過(guò)這樣對溫度變化進(jìn)行梯度控制，保證系統的溫度精度。

高效換熱系統：系統采用管道式加熱冷卻，參與循環(huán)的液體非常少，制冷采用板式換熱器，，換熱效率高、結構緊湊，加熱采用管道式法蘭加熱器，整個(gè)系統的容積（板式換熱器容積+管道式加熱器容積+循環(huán)泵內容積+循環(huán)管路容積）。

控制重復性：基于高級動(dòng)態(tài)控制系統，每次都能實(shí)現一致的控制結果，大大提升產(chǎn)品生產(chǎn)的穩定性。

產(chǎn)品外觀(guān)：外觀(guān)設計吸取國外進(jìn)口產(chǎn)品的設計理念，采用大口徑石英玻璃液位計，液位計與操作屏放在同一側，觀(guān)察方便，風(fēng)格簡(jiǎn)約時(shí)尚，比列協(xié)調，專(zhuān)有的色彩搭配。

超高溫降溫技術(shù)：采用超高溫降溫技術(shù)，可以滿(mǎn)足在最高300℃高溫直接開(kāi)啟壓縮機制冷降溫。

質(zhì)量保障：所有的關(guān)鍵部件均選用進(jìn)口品牌，確保產(chǎn)品長(cháng)時(shí)間可靠運行。同時(shí)所有產(chǎn)品發(fā)貨前均經(jīng)過(guò)嚴格測試與檢驗，確保設備到客戶(hù)現場(chǎng)不會(huì )出現任何問(wèn)題。

普泰克溫控系列

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