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半導體恒溫系統主要由加熱循環(huán)系統、冷卻系統、控制系統、箱體等組成。加熱循環(huán)系統包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。冷卻系統包括油水換熱器、油油換熱器（部分設備）、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成。控制系統采用PID控制技術(shù)，高清顯示屏，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過(guò)機組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿(mǎn)足工藝條件要求。