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晶圓測試國產(chǎn)替代溫控系統

簡(jiǎn)要描述:晶圓測試國產(chǎn)替代溫控系統晶圓生產(chǎn)完成后,需要對其進(jìn)行各種參數的檢測,在檢測的過(guò)程中,需要在不同溫度下進(jìn)行測試,晶圓測試用溫控設備(晶圓測試溫控系統)是高精度,高分辨率,高穩定性的控制設備。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2024-06-18
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1212
詳情介紹

晶圓測試國產(chǎn)替代溫控系統介紹:  

晶圓測試國產(chǎn)替代溫控系統晶圓生產(chǎn)完成后,需要對其進(jìn)行各種參數的檢測,在檢測的過(guò)程中,需要在不同溫度下進(jìn)行測試。本實(shí)用新型屬于半導體測試技術(shù)領(lǐng)域。晶圓測試用溫控設備(晶圓測試溫控系統)是高精度,高分辨率,高穩定性的控制設備,操作簡(jiǎn)單,可非標定制。

產(chǎn)品特征:

1.超高溫降溫技術(shù):采用超高溫降溫技術(shù),可以滿(mǎn)足在300℃高溫直接開(kāi)啟壓縮機制冷降溫。

2.控制重復性:基于高級動(dòng)態(tài)控制系統,每次都能實(shí)現一致的控制結果,大大提升產(chǎn)品生產(chǎn)的穩定性。

3.產(chǎn)品外觀(guān):外觀(guān)設計吸取國外進(jìn)口產(chǎn)品的設計理念,采用大口徑石英玻璃液位計,液位計與操作屏放在同一側,觀(guān)察方便,風(fēng)格簡(jiǎn)約時(shí)尚,比列協(xié)調,專(zhuān)有的色彩搭配。

4.控溫系統:自主開(kāi)發(fā)的溫度控制模塊,改變控制設定的方法,能夠盡快的響應過(guò)程中系統的滯后,得到最小溫度過(guò)沖。控制由兩組PID(每組PID是可變的)控制回路構成,這兩組控制回路成為主回路和從回路,主回路的控制輸出作為從回路的設定值。系統采用帶有前饋PV,主控回路的PID運行結果的輸出與前饋PV信號復合后作為主控回路的設定值,通過(guò)這樣對溫度變化進(jìn)行梯度控制,保證系統的溫度精度。

5.高效換熱系統:系統采用管道式加熱冷卻,參與循環(huán)的液體非常少,制冷采用板式換熱器,換熱效率高、結構緊湊,加熱采用管道式法蘭加熱器,整個(gè)系統的容積(板式換熱器容積+管道式加熱器容積+循環(huán)泵內容積+循環(huán)管路容積)。

6.質(zhì)量保障:所有的關(guān)鍵部件均選用進(jìn)口品牌,確保產(chǎn)品長(cháng)時(shí)間可靠運行。同時(shí)所有產(chǎn)品發(fā)貨前均經(jīng)過(guò)嚴格測試與檢驗,確保設備到客戶(hù)現場(chǎng)不會(huì )出現任何問(wèn)題。

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