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半導體器件高低溫測試設備

簡(jiǎn)要描述:半導體器件高低溫測試設備(Chiller)主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統構成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過(guò)程中的溫控設備。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2024-06-18
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:324
詳情介紹

半導體器件高低溫測試設備(Chiller)主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統構成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過(guò)程中的溫控設備。在常規PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術(shù)和自適應控制技術(shù),并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節能控制,顯著(zhù)地提高了Chiller的穩定性、控制精度和響應速度。

半導體器件高低溫測試設備特點(diǎn):

變頻控制,智能PID控制

預測控制及自適應控制

模塊化功能定制,高效節能

兩級閉環(huán)節能控制

普泰克(proteco)制冷設備技術(shù)集合了多位生物制藥領(lǐng)域、機械設計、軟件自控的專(zhuān)業(yè)人才,依托于浙江大學(xué)制冷研究院的技術(shù)團隊支持,致力于高低溫設備的研究、開(kāi)發(fā)、制造、銷(xiāo)售。

我司借鑒歐美技術(shù),以模塊化部件為平臺,衍生出多款高低溫設備產(chǎn)品,提出:“個(gè)性化溫度控制解決方案"的理念!嚴格按照客戶(hù)要求進(jìn)行規劃和制造,產(chǎn)品廣泛應用于國內外科學(xué)研究和工藝開(kāi)發(fā)、新能源汽車(chē)、生物技術(shù)、醫藥行業(yè)、航空航天、半導體、醫療技術(shù)等行業(yè)。




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